光刻机镜片有多大

以荷兰阿斯麦尔的euv光刻机为例，如果采用轴对称非球面加工技术，其镜片系统的口径最大可以达到540毫米。这一规格意味着单块镜片的加工难度极高，对制造工艺提出了非常苛刻的要求。